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三靶等離子濺射鍍膜儀(增強(qiáng)型)
  • 三靶等離子濺射鍍膜儀(增強(qiáng)型)
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貨物所在地:河南鄭州市

更新時間:2025-07-24 21:00:08

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三靶等離子濺射鍍膜儀(增強(qiáng)型)采用級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。本型號儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。(本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺,可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力)該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。

詳情介紹:

三靶等離子濺射鍍膜儀(增強(qiáng)型)采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。本型號儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。(本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺,可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力)該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學(xué)習(xí)使用。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

三靶等離子濺射鍍膜儀(增強(qiáng)型)

產(chǎn)品型號

CY-PLZ180-III-DC-Q

樣 品 臺

尺寸

100mm

旋轉(zhuǎn)速度

1~20rpm可調(diào)

加熱溫度

≤500℃            

控溫精度

±1℃   PID控溫

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸x3

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 200mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進(jìn)氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s(4m3/h)

極限真空度

≥0.1Pa

真空測量

電阻真空規(guī)

其  他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 450mm X550mm

整機(jī)重量

30kg



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