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智能型滑動(dòng)式快速退火爐
  • 智能型滑動(dòng)式快速退火爐
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貨物所在地:河南鄭州市

更新時(shí)間:2025-07-24 21:00:08

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智能型滑動(dòng)式快速退火爐可搭配石英管、剛玉管使用,實(shí)現(xiàn)多種實(shí)驗(yàn)功能。如用于CVD法制備石墨烯;還可廣泛用于各種反應(yīng)溫度在25~1600℃左右的各種CVD實(shí)驗(yàn)、真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多個(gè)研究領(lǐng)域。
簡單介紹:
智能型滑動(dòng)式快速退火爐可搭配石英管、剛玉管使用,實(shí)現(xiàn)多種實(shí)驗(yàn)功能。如用于CVD法制備石墨烯;還可廣泛用于各種反應(yīng)溫度在25~1600℃左右的各種CVD實(shí)驗(yàn)、真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多個(gè)研究領(lǐng)域。




詳情介紹:

在半導(dǎo)體工業(yè)中,硅是最基本的材料。智能型滑動(dòng)式快速退火爐可用于硅片的摻雜后的退火處理。例如,在通過離子注入向硅片中引入硼(B)、磷(P)等雜質(zhì)元素后,利用該退火爐能快速激活這些雜質(zhì)原子,修復(fù)離子注入過程中硅晶格所受到的損傷。這有助于形成所需的 P - N 結(jié),而 P - N 結(jié)是幾乎所有半導(dǎo)體器件(如二極管、晶體管)的基本結(jié)構(gòu)單元。


像砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)等化合物半導(dǎo)體材料,在光電子和高速電子器件領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。這種退火爐可以對(duì)它們進(jìn)行退火,改善材料的晶體質(zhì)量和電學(xué)性能。比如,對(duì)于 GaN 基的藍(lán)光發(fā)光二極管(LED)制造過程,退火能夠減少材料中的缺陷,提高 LED 的發(fā)光效率和壽命。


產(chǎn)品名稱智能型滑動(dòng)式快速退火爐
常規(guī)型號(hào)CY-T1200-50IT-MRTP(爐管直徑:50mm)
CY-T1200-60IT-MRTP(爐管直徑:60mm)
CY-T1200-80IT-MRTP(爐管直徑:80mm)
CY-T1200-100IT-MRTP(爐管直徑:100mm)
爐膛模式一體式
極限溫度1200℃
升溫速率≤20℃(建議:10℃/min)
加熱溫區(qū)單溫區(qū)
溫區(qū)長度440mm
恒溫區(qū)長260mm
爐管可選石英管、剛玉管
爐管長度1000mm
氣密性4.03×10-3Pa
控制模式智能PID
控溫精度±1℃
測溫元件根據(jù)使用溫度不同可選K型熱電偶或B型熱電偶
電氣認(rèn)證CE認(rèn)證
供電電源220V 50Hz
整機(jī)功率2.5KW
外形尺寸630×470×610 mm
售后服務(wù)12個(gè)月質(zhì)保,終身保修
包裝形式三合板木質(zhì)包裝箱
隨機(jī)配件石英爐管;真空法蘭;爐管堵塞;O型密封圈;防護(hù)手套;坩堝爐鉤;說明書;


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