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貨物所在地：河南鄭州市
更新時間：2025-07-24 21:00:08
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簡單介紹：
熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗電極的制作等
詳情介紹：
配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個腔體內(nèi)即實現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過程可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗臺上使用，一機多用，性價比突出，非常適合各大高校及研究機構(gòu)選用。
適用范圍：
適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗電極的制作等。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
樣品臺 | 位 置 | 頂部設(shè)置 |
外形尺寸 | 直徑φ150mm | |
轉(zhuǎn) 速 | 0-20 rpm可調(diào) | |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 鎢舟 | |
蒸發(fā)電源 | 蒸發(fā)源配一組獨立電源 | |
濺射電源 | 直流電源 | |
濺射靶 | 數(shù)量2"×1 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ273mm×H300mm |
觀察窗口 | 直徑φ80mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速60L/S | |
真空測量 | 復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
整機功率 | 7KW | |
整機重量 | 120kg | |
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