樣品臺(tái)

外形尺寸

Φ360mm

可調(diào)轉(zhuǎn)速

1-20rpm可調(diào)

磁控靶槍

靶材平面

圓形平面靶

濺射真空

0.1Pa～3Pa

靶材直徑

100～101.6mm

靶材厚度

3mm

絕緣電壓

>2000V

電纜規(guī)格

SL-16

靶頭溫度

≦65℃

真空腔體

內(nèi)壁處理

電解拋光

腔體尺寸

Φ500mm × 500mm

腔體材料

304不銹鋼

觀察窗口

石英窗口，直徑φ100mm

開(kāi)啟方式

側(cè)面開(kāi)啟

氣體控制

流量控制

質(zhì)量流量計(jì)，量程0～100SCCM

氣體種類(lèi)

可選氬氣、氮?dú)?、氧氣等多種氣體

調(diào)節(jié)閥類(lèi)型

電磁調(diào)節(jié)閥

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

測(cè)量線(xiàn)性度

±1.5%F.S

測(cè)量重復(fù)精度

±0.2%F.S

測(cè)量響應(yīng)時(shí)間

≤8秒（T95）

工作壓差范圍

0.3MPa

閥體耐壓

3MPa

工作環(huán)境溫度

（5～45）℃

閥體材料

不銹鋼316L

閥體漏率

1×10-8Pa.m3/s

管道接頭

1/4″卡套接頭

輸入輸出信號(hào)

0～5V

供電電源

±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）

外形尺寸mm

130（寬）×102（高）×28（厚）

通訊接口

RS485 MODBUS協(xié)議

直流電源

電源功率

1500W

膜厚測(cè)量

電源要求

DC:5V（±10%） *大電流 400mA

分辨率

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測(cè)量(鋁)

測(cè)量精度

±0.5%厚度+1計(jì)數(shù)

測(cè)量周期

100mS～1S/次（可設(shè)置）

測(cè)量范圍

500,000 ? (鋁)

晶體頻率

6MHz

通訊接口

RS-232/485串行接口

顯示位數(shù)

8位LED顯示

分子泵

分子泵抽速

1200L/S

額定轉(zhuǎn)速

24000rpm

振動(dòng)值

≦0.1um

啟動(dòng)時(shí)間

5min

停機(jī)時(shí)間

7min

冷卻方式

水冷+風(fēng)冷

冷卻水溫度

≦37℃

冷卻水流速

1L/min

安裝方向

垂直±5°

抽氣接口

150CF

排氣接口

KF40

前級(jí)泵

抽氣速率

VRD-16

極限真空

1Pa

供電電源

AC:220V/50Hz

電機(jī)功率

400W

噪音

≦56db

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF25

閥門(mén)

閘板閥

真空腔體與分子泵間裝有閘板閥

切斷閥

分子泵與前級(jí)之間裝有切斷閥

旁抽閥

真空腔體與前級(jí)之間裝有旁抽閥

放氣閥

真空腔體上裝有電磁放氣閥

整機(jī)極限真空

≦5×10-4Pa

測(cè)試靶材

直徑4英寸厚度3mm的鎳靶材1塊