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簡單介紹：
高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀適用于蒸發(fā)涂覆大多數金屬和某些有機材料薄膜。
詳情介紹：
本儀器是一種具有兩個蒸發(fā)源的高真空蒸發(fā)鍍膜儀，鎢絲籃（或鎢舟）用作蒸發(fā)源，并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體，密封性能好，真空性能好。 該腔室配有觀察窗，因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-5Pa，可有效提高涂層質量，并能滿足大多數蒸發(fā)涂層實驗所需的真空環(huán)境。
產品名稱 | 高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVV195-II-HH-SS | |
樣品臺 | 位 置 | 頂部設置 |
外形尺寸 | 直徑φ65mm | |
轉 速 | 0-20 rpm | |
間 距 | 樣品架和蒸發(fā)源之間的距離可調 | |
可調溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 鎢絲籃×2個，鎢舟×2個 | |
蒸發(fā)電源 | 每個蒸發(fā)源配一組獨立電源；雙個蒸發(fā)源可同時共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ195mm×H210mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 上開蓋 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數 | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
整機功率 | 7KW | |
整機重量 | 260kg | |
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