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貨物所在地：河南鄭州市
更新時(shí)間：2025-07-24 21:00:08
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簡(jiǎn)單介紹：
卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長(zhǎng)，大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。
詳情介紹：
本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀，鎢絲籃（或鎢舟）用作蒸發(fā)源，并且樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體，密封性能好，真空性能好。 該腔室配有觀察窗，因此可以看到涂層過(guò)程。 采用分子泵系統(tǒng)的真空10E-4Pa，可有效提高涂層質(zhì)量，并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。
可用于不同種類的材料的薄膜生長(zhǎng)，大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。
產(chǎn)品名稱 | 卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVH600R-II-HH-SS | |
供電電壓 | 單相，AC220V, 50Hz | |
真空腔體 | 內(nèi)壁處理 | 電解拋光 |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
腔體尺寸 | 臥式Φ600mm×500mm | |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
開(kāi)啟方式 | 前開(kāi)門式 | |
卷繞系統(tǒng) | 收放卷 | Φ200mmx300mm |
速度 | 60m/min（可調(diào)） | |
張緊 | 可調(diào) | |
蒸發(fā)源和電源 | 部件數(shù)量 | 1套金屬蒸發(fā)源，帶獨(dú)立擋板 |
電極電壓 | 10V | |
送絲速度 | ≤3m/min | |
蒸發(fā)電流 | 功率2KW，*大電流為160A，調(diào)節(jié)精度為1A | |
蒸發(fā)器 | 鎢舟，1個(gè) | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵，抽速1.1L/s |
渦輪分子泵 | 抽速：600L/s； 額定轉(zhuǎn)速：24000rpm； 啟動(dòng)時(shí)間：≦4.5min 冷卻方式：水冷+空冷 進(jìn)氣接口：ISO150 出氣接口：KF40 真空度：5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時(shí)間少于40分鐘 | |
復(fù)合真空計(jì) | 測(cè)量范圍 105Pa~10-5Pa | |
膜厚監(jiān)測(cè)儀 | 測(cè)量精度 | 0.1? |
測(cè)量速度 | 100ms-1s/次 | |
可設(shè)置測(cè)量范圍 | 500000?（鋁） | |
標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體 | 6MHz | |
適用晶體尺寸 | Φ14mm (標(biāo)配10片) | |
空壓機(jī) | 作用于電控氣動(dòng)閥 | |
水冷機(jī) | 冷卻水溫度：≦37℃ 流速：10L/min 功率：0.1KW 冷卻功率：50W/℃ 水箱容量：9L | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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