2025/08/07
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PECVD氣相沉積(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)是一種化學(xué)氣相沉積技術(shù),在材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造等眾多領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。