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光譜成像技術(shù)簡(jiǎn)述及產(chǎn)品應(yīng)用介紹
2025/08/18
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quDIS皮米級(jí)精度激光干涉儀工作范圍0-1400mm，目標(biāo)速度可達(dá)1m/s；信號(hào)穩(wěn)定性＜50pm，支持3通道測(cè)試，新升級(jí)了外部時(shí)鐘同步觸發(fā)功能。根據(jù)測(cè)試需求提供多種類型探頭，AMU環(huán)境補(bǔ)償單元可以補(bǔ)償溫度，壓力和濕度引起的誤差以及空氣折射率變化，精度高達(dá)±1ppm。quDIS皮米精度位移激光干涉儀在原理上同樣采用激光干涉法，不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference Cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考，通過(guò)激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣。基于這種測(cè)量方式，使得quDIS相對(duì)其他產(chǎn)品測(cè)量距離可以達(dá)到1400mm的同時(shí)保持高精度，且與信號(hào)對(duì)比度和強(qiáng)度無(wú)關(guān)，由于使用整個(gè)干涉模式來(lái)提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，皮米精度位移激光干涉儀quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號(hào)中提取得到。
