ENT-5 納米壓痕試驗機

ENT-5 納米壓痕試驗機適用于各種材料：

l  電鍍、硬涂層薄層

l  樹脂、聚合物薄膜

l  超薄DLC涂層

l  功能性樹脂、表面改性層

l  細顆粒和粉末材料

第5代Elionix納米壓痕測試儀

l  通過抑制測量環(huán)境中的干擾實現(xiàn)高數(shù)據(jù)再現(xiàn)性

l  可靠精密的“日本制造"

l  支持從0.5μN到2,000mN的廣泛測試負載

納米壓痕測試

l  可以獲得薄膜或表層的硬度和彈性模量等機械特性。分析加載/卸載曲線以確定特性。

l  分析加載/卸載曲線以確定特性，無需觀察壓痕

l  符合ISO14577-1 / JIS Z 2255

產(chǎn)品特點：

1.    溫度控制

防止樣品和試驗機熱膨脹

環(huán)境隔離罩內(nèi)溫度控制在±0.1℃

機架和樣品架/載物臺使用低熱膨脹材料（Nobinite）

減少環(huán)境氣流的影響

2.    高精度定位平臺

采用Elionix電子束光刻系統(tǒng)內(nèi)部開發(fā)的高精度“Kusabi"平臺

0.1um定位步長

以2,000倍的放大倍率觀察材料并設置測量點。

3.    主動隔振

抗振楔形高精度平臺

主動隔振臺

4.    軟件

日常檢查的彈出提示：壓頭頂端校正，溫度漂移校正。

易于使用的操作性

5.    數(shù)據(jù)再現(xiàn)性

通過抑制振動和溫度變化引起的干擾提高數(shù)據(jù)再現(xiàn)性。

即使連續(xù)測量也能獲得穩(wěn)定數(shù)據(jù)

6.    可維護性

易于更換裝載裝置

易于更換裝載裝置，將停機時間降低

技術(shù)參數(shù)：

可選配件：

可選測試：