您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
半導(dǎo)體廢氣治理：春天將至 企業(yè)如何應(yīng)對
2018年3月12日，生態(tài)環(huán)境部印發(fā)《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（二次征求意見稿）》（以下簡稱《二次征求意見稿》）。經(jīng)歷了十年時間多次修改后，電子工業(yè)污染物排放國家標(biāo)準(zhǔn)終于要出臺了。
麒翰科技工程有限公司（以下簡稱“麒翰科技”）總經(jīng)理高金磊認(rèn)為，《二次征求意見稿》的發(fā)布就是為了改善電子工業(yè)特別是半導(dǎo)體行業(yè)污染治理沒有國標(biāo)的現(xiàn)狀。可以想象，未來電子工業(yè)污染治理尤其是半導(dǎo)體廢氣治理或?qū)⒂瓉泶禾臁?/span>
半導(dǎo)體廢氣治理曙光初現(xiàn)
半導(dǎo)體行業(yè)作為*產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)和無機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
據(jù)國家統(tǒng)計局?jǐn)?shù)據(jù)，截至2016年我國電子元件制造行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)數(shù)量達(dá)5751家。我國的半導(dǎo)體行業(yè)市場集中度較高，主要集中在長江三角洲、珠江三角洲、環(huán)渤海以及中西部區(qū)域。產(chǎn)業(yè)的相對集中有利于環(huán)保治理的開展。隨著國家對環(huán)保的重視，國家和地方相繼發(fā)布了半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)。
2008年6月原環(huán)保部發(fā)布 “電子終端產(chǎn)品”、 “平板顯示器、電真空及光電子器件” “半導(dǎo)體器件” “電子元件”等四項電子工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿。
2013年原環(huán)保部將四項標(biāo)準(zhǔn)合并立項稱為電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)，并于2015年10月發(fā)布《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）。
2018年3月原環(huán)保部發(fā)布了《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（二次征求意見稿）。
相對于國標(biāo)的難產(chǎn)，地方對于半導(dǎo)體行業(yè)VOCs排放控制時間更早些，標(biāo)準(zhǔn)也更嚴(yán)苛。
2006年，上海印發(fā)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31/374-2006）。其中規(guī)定VOCs高允許排放濃度為100mg/m3。
2007年北京發(fā)布《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB11/501-2007）。其中規(guī)定半導(dǎo)體及電子產(chǎn)品制造VOCs的限值現(xiàn)有企業(yè)為50mg/m3，新建企業(yè)為20mg/m3。2018年北京市《電子工業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）。規(guī)定非甲烷總烴高允許排放濃度為20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。
2014年天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)化合物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（DB12/524-2014）。其中規(guī)定電子工業(yè)VOCs高允許排放濃度為80mg/m3。
2017年廣東發(fā)布《電子工業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）。其中規(guī)定VOCs高允許排放濃度為30mg/m3。
2017年廣東發(fā)布《電子設(shè)備制造業(yè)揮發(fā)性有機(jī)化合物排放標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）。其中規(guī)定VOCs高允許排放濃度為40mg/m3。
2018年江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）。規(guī)定非甲烷總烴高允許排放濃度為60mg/m3。
就此看來，半導(dǎo)體行業(yè)VOCs排放標(biāo)準(zhǔn)逐漸收緊是必然趨勢。高金磊表示，相比中國臺灣，大陸的半導(dǎo)體排放標(biāo)準(zhǔn)相對寬松。在環(huán)保的大背景下，半導(dǎo)體VOCs治理是大勢所趨。在中國臺灣半導(dǎo)體VOCs治理領(lǐng)域，麒翰科技業(yè)績非常良好，希望能為大陸的半導(dǎo)體VOCs治理貢獻(xiàn)自己的一份力量。
行業(yè)問題猶存
雖然，各地政府發(fā)布了很多半導(dǎo)體廢氣治理的相關(guān)政策，但相對其他行業(yè)，半導(dǎo)體廢氣治理相對滯后，同時整個半導(dǎo)體廢氣治理行業(yè)還存在著一些問題。
首先，國家排放標(biāo)準(zhǔn)缺失。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)，如美國、德國等都針對半導(dǎo)體行業(yè)制訂了相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)，但我國尚未頒布半導(dǎo)體行業(yè)的排放標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體行業(yè)仍在執(zhí)行國家大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)或者參照執(zhí)行地方標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)的缺失，給日常監(jiān)管帶來諸多不便。
半導(dǎo)體行業(yè)目前參照國家《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)，僅對排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等規(guī)定了排放限值，國內(nèi)地方行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)只有1~3個指標(biāo)，不能面對行業(yè)排放污染物較多的實際問題；缺少行業(yè)特征污染物項目如苯系物、異丙醇、醛酮類、乙酸酯類等作為VOCs控制指標(biāo)，也不能反映行業(yè)的生產(chǎn)特殊性。
高金磊認(rèn)為，目前我國沒有電子行業(yè)VOCs的標(biāo)準(zhǔn)限值標(biāo)準(zhǔn)，無法實現(xiàn)或者滿足VOCs監(jiān)控工作的需求。令人欣慰的是，部分地方政府出臺的一些排放標(biāo)準(zhǔn)增加了半導(dǎo)體行業(yè)的特征污染物如異丙醇、丙酮等。
其次，治污效果不如人意。
當(dāng)前半導(dǎo)體企業(yè)治污技術(shù)雖然很多但效果往往不盡人意。許多半導(dǎo)體企業(yè)都上了廢氣治理措施，但超標(biāo)排污現(xiàn)象依然存在。
高金磊表示，目前半導(dǎo)體廢氣治理市場亂象叢生。很多半導(dǎo)體企業(yè)在選擇治理技術(shù)時往往具有很強(qiáng)的盲目性，看到別的半導(dǎo)體企業(yè)采用什么技術(shù)路線就會選擇相同的工藝，很少考慮企業(yè)自身的實際情況，導(dǎo)致花了冤枉錢治理效果還不理想。另外一些企業(yè)治理設(shè)施運行不當(dāng)，導(dǎo)致廢氣排放量大，部分作業(yè)地點濃度比較高。還有一些企業(yè)認(rèn)為只要通過環(huán)保驗收就可以了，而疏于維護(hù)管理導(dǎo)致不能發(fā)揮正常治污效果。有的企業(yè)廢氣吸附處理裝置內(nèi)活性炭長期未更換，已飽和，起不到吸附作用。既達(dá)不到預(yù)期治理效果，也造成污染治理設(shè)施資源浪費。
后，企業(yè)對環(huán)保不重視。
企業(yè)對環(huán)保工作重視程度不夠、廢氣治理設(shè)施建設(shè)滯后。半導(dǎo)體屬于高技術(shù)產(chǎn)業(yè)，輕微的污染就有可能造成非常嚴(yán)重的后果。舉個例子，隨著半導(dǎo)體制程不斷的升級提高，尺寸進(jìn)納米級時代，對于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高，半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)也提高了很多。AMC的尺寸比粒子要小得多, 相差幾個數(shù)量級, 過濾器(HEPA) 或者超過濾器(ULPA) 根本無法去除AMC。
高金磊強(qiáng)調(diào)，魔鬼藏在細(xì)節(jié)里。AMC在生產(chǎn)過程中對不同制程產(chǎn)生不良的影響，嚴(yán)重時可能對產(chǎn)品造成致命的缺陷而影響良率。因此半導(dǎo)體企業(yè)一定要提高認(rèn)識，重視AMC的控制，選擇有效的控制技術(shù)從而提高產(chǎn)品良率。
基于半導(dǎo)體廢氣治理的現(xiàn)狀，高金磊表示，麒翰科技希望能為半導(dǎo)體廢氣治理提供一種性價比高的技術(shù)，讓半導(dǎo)體企業(yè)有更多的技術(shù)選擇。
技術(shù)公司優(yōu)勢凸顯
隨著一批單純追求規(guī)模、盲目擴(kuò)張的企業(yè)倒下，業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，技術(shù)型公司迎來了發(fā)展機(jī)遇。
作為一家以技術(shù)見長的公司，麒翰科技在空氣污染防治與溶劑回收處理方面一直走在*。公司擁有*的外氣空調(diào)箱(MAU)水力薄膜吸收AMC控制技術(shù)，并在臺積電、友達(dá)光電等企業(yè)應(yīng)用，取得了非常不錯的效果。
高金磊表示，環(huán)保技術(shù)復(fù)雜且綜合。麒翰科技堅持做技術(shù)，一是因為自己本身就是技術(shù)出身，而且公司有一個技術(shù)團(tuán)隊。二是技術(shù)公司能夠做到社會效益和經(jīng)濟(jì)效益相結(jié)合。另外技術(shù)是創(chuàng)新的根本，一個企業(yè)甚至一個民族要想發(fā)展，技術(shù)創(chuàng)新是核心競爭力。
麒翰科技是高科技產(chǎn)業(yè)空氣污染防治及質(zhì)量技術(shù)的專家，深耕高科技產(chǎn)業(yè) (IC/TFT-LCD/LED/PV/Li -Battery etc. )空氣污染防技術(shù)； 例如 , 揮發(fā)性有機(jī)廢氣 揮發(fā)性有機(jī)廢氣 (VOC)處理、酸堿處理、酸堿洗滌塔、潔凈室氣態(tài)分子 污染 (AMC)控制技術(shù)、 高沸點 VOCs 廢氣溶劑回收處理、酸性廢氣溶劑回收處理、酸性 /堿性 /有機(jī)煙霧 (白煙 )處理、NOx（黃煙）處理 , 異味 (DMS 醋酸 etc.)及溶劑回收問題超過二十年，并且已經(jīng)發(fā)展出多項率溶劑回收及污染防制技術(shù) 。
高金磊表示，未來麒翰科技還將聚焦半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理。麒翰科技堅持技術(shù)，相信技術(shù)的力量，相信技術(shù)創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的核心競爭力。另外麒翰科技堅持客戶優(yōu)先，追求高質(zhì)量的客戶體驗，為客戶提供完整的解決方案。
隨著中國半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放達(dá)標(biāo)及監(jiān)管任務(wù)繁重。有效控制半導(dǎo)體生產(chǎn)對環(huán)境帶來的影響，促進(jìn)行業(yè)發(fā)展健康可持續(xù)發(fā)展，這是解決半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要問題。
高金磊強(qiáng)調(diào)，重視每個處理系統(tǒng)的效率，防止交叉污染也是半導(dǎo)體廢氣治理的重要部分。目前半導(dǎo)體企業(yè)更多是關(guān)注末端治理，隨著技術(shù)的逐漸成熟，由末端治理轉(zhuǎn)向源頭控制是未來的發(fā)展方向。
后，高金磊表示對半導(dǎo)體廢氣治理而言，春天將至，至于能否抓住機(jī)遇，就看企業(yè)如何應(yīng)對了。