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壓電平移臺(tái)的主要參數(shù)介紹

閱讀:34      發(fā)布時(shí)間:2025-7-11
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前段時(shí)間我們一起了解了《壓電納米位移臺(tái)是如何工作的》,主要介紹壓電位移臺(tái)里壓電馬達(dá)的種類和原理?;仡櫼幌拢河蓧弘婑R達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)一般把馬達(dá)安裝在基座,而動(dòng)子則是位移臺(tái)臺(tái)面的一部分。沒(méi)有傳統(tǒng)電磁馬達(dá)(伺服或步進(jìn)電機(jī))驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)所需的絲桿或蝸輪蝸桿組傳動(dòng)部件,是一個(gè)直接驅(qū)動(dòng),沒(méi)有回程間隙的驅(qū)動(dòng)方式,有一定自鎖能力。由于壓電陶瓷的形變量極小,可以達(dá)到非常微小的平臺(tái)位移運(yùn)動(dòng)增量,可以說(shuō)壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)是名副其實(shí)的納米位移臺(tái)。

接下來(lái)我們將著重講解壓電平移臺(tái)的主要參數(shù)。
                                                                     
壓電平移臺(tái)的通用參數(shù)  

行程:
在保證精度的情況下,運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)行距離。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最大行程是±150mm。

最大負(fù)載:
對(duì)于線性平臺(tái)而言,這是指水平安裝時(shí),可施加給平臺(tái)的最大負(fù)載。    且質(zhì)量負(fù)載中心位于平臺(tái)的中心,垂直于運(yùn)動(dòng)軸和平臺(tái)表面。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最大負(fù)載是20kg。

最大速度:
最大速度是指在額定負(fù)載的狀態(tài)下,系統(tǒng)能夠持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的最大速度。對(duì)于短行程位移臺(tái),其行程的限制也是制約運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)最大速度的關(guān)鍵影響。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最大閉環(huán)控制速度是50mm/s,開(kāi)環(huán)運(yùn)行可達(dá)100mm/s。

微量運(yùn)動(dòng)&納米級(jí)控制參數(shù)  

最小步距:
最小步距是指運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動(dòng)的最小量。是實(shí)際當(dāng)中能夠?qū)崿F(xiàn)、經(jīng)過(guò)反復(fù)驗(yàn)證并且可重復(fù)的最小運(yùn)動(dòng)增量。這是表現(xiàn)壓電平移臺(tái)是真正納米平移臺(tái)的關(guān)鍵指標(biāo)。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最小步距是10nm。

雙向重復(fù)定位精度:
雙向重復(fù)定位精度是指,多次從兩個(gè)方向移動(dòng)到指定位置的重復(fù)性指標(biāo)。這也是位移臺(tái)常用并且重要的,表征重復(fù)性的參數(shù)。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的最小雙向重復(fù)定位精度是±100nm。行程對(duì)重復(fù)定位精度有一定影響,和在毫米行程內(nèi),可達(dá)到+/-50nm或更小。

運(yùn)行軌跡穩(wěn)定性方面參數(shù)  
壓電平一條命
運(yùn)動(dòng)平行度:
也稱平行度、平直度、平面度等,是指非軸向線性誤差中的垂直方向的分量。將固定于基準(zhǔn)平面(如隔振平臺(tái)或大理石平臺(tái))上的滑臺(tái)從基準(zhǔn)點(diǎn)(行程端沿一定方向以一定間隔或全行程驅(qū)動(dòng)電動(dòng)位移臺(tái)并定位),在相應(yīng)定位位置上,分別測(cè)量垂直方向的差異量,我們定義其最大差值為運(yùn)動(dòng)平行度。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品目前的運(yùn)動(dòng)平行度<10μm。
壓電平移臺(tái)
直線度:
運(yùn)動(dòng)直線度是指非軸向線性誤差中的水平方向的分量。將固定于基準(zhǔn)平面(如隔振平臺(tái)或大理石平臺(tái))上的滑臺(tái)從基準(zhǔn)點(diǎn)(行程端到全行程運(yùn)動(dòng),沿一方向以一定間隔(通常選3~10 個(gè)點(diǎn),盡可能均勻分布在全行程范圍)依次驅(qū)動(dòng)電動(dòng)滑臺(tái)并定位,在相應(yīng)定位位置上。分別測(cè)量水平方向的差異量,

我們定義其最大差值為運(yùn)動(dòng)直線度。聯(lián)合光科壓電平移臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)品的直線度在0-50行程內(nèi)<2um,50-150行程<4um,更大行程的直線度約<10um。
壓電平移臺(tái)
    聯(lián)合光科的雙向重復(fù)定位精度,運(yùn)動(dòng)平行度,直線度檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn),符合GB/T 17421.2-2000(幾何精度檢驗(yàn))。測(cè)試環(huán)境:恒溫恒濕環(huán)境,溫度(27.5±1)℃,濕度(61±5)%。位移臺(tái)安裝在氣浮隔振平臺(tái)正常工作狀態(tài),實(shí)驗(yàn)室中無(wú)影響測(cè)量精度的氣流擾動(dòng)、灰塵顆粒、振動(dòng)和較強(qiáng)磁場(chǎng)波動(dòng)。測(cè)量?jī)x器:激光干涉儀,以上是壓電平移臺(tái)的主要參數(shù)介紹,歡迎大家咨詢!

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▲ 10nm精度壓電平移臺(tái) / 526802



    聯(lián)合光科的10nm精度壓電平移臺(tái)為鋁合金主體,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,具有高精密度、高重復(fù)性,高線性度。超薄緊湊型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),方便機(jī)械集成。聯(lián)合光科提供最小步進(jìn)距10nm的壓電平移臺(tái)庫(kù)存產(chǎn)品供您選擇。

    聯(lián)合光科期望在您構(gòu)建光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的過(guò)程中,能為您提供簡(jiǎn)潔、經(jīng)濟(jì)、快捷的手段,并方便您使用過(guò)程中快捷的進(jìn)行元件的固定、替換和調(diào)整。


產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 壓電超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng),軸向推8N
2. 采用交叉滾柱導(dǎo)軌,具有高精密度、高重復(fù)性,高線性度
3. 斷電自鎖,內(nèi)具剎車功能,無(wú)回程間隙
4. 最小步進(jìn)距10nm
5. 光柵尺位置傳感器
6. 超薄緊湊型設(shè)計(jì),方便機(jī)械集成,鋁合金主體,陽(yáng)極氧化處理


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