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SFS6420-顆粒檢測儀
  • SFS6420-顆粒檢測儀
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 美國

更新時間:2025-05-23 21:00:07

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KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統(tǒng),廣泛應用于半導體制造領域。該設備由KLA-Tencor公司生產,具有多種功能和特點。
功能與應用:
表面分析:SFS6420是一種多功能的表面分析工具,能夠檢測、計數(shù)和測量亞微米級顆粒,適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。
缺陷檢測:該系統(tǒng)可以進行高分辨率的缺陷檢測,包括掩模對準和覆蓋精度的檢測。

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀


產品概述

名稱:KSLA-Tencor SFS6420

制造商:KLA-Tencor

尺寸:8英寸

主要功能

粒子檢測與計數(shù)

用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細度

表面分析工具

設計用于滿足廣泛應用的需求

利用最新光學技術,易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

高速自動化測試

能實時分析現(xiàn)場條件,適用于在線和離線應用

每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力

技術特點

多傳感器技術

提供創(chuàng)新的特性,如多傳感器技術

實時信息提供

通過統(tǒng)計分析和趨勢分析為用戶提供與產品質量相關的實時信息

應用領域

晶圓檢測系統(tǒng)

用于監(jiān)控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

與KLA-Tencor的其他設備兼容,用于PCB組裝板下的WFR檢測




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