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善準科技VP-R系列真空等離子清洗機采用低溫真空石英腔體等離子清洗裝置技術(shù)，對標國際一線廠家，補充國內(nèi)技術(shù)短板。VP-R系列腔體采用石英玻璃材質(zhì)，頻率13.56MHz，功率160W，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
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