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TS102GXY半導(dǎo)體冷熱臺(tái)可用于顯微鏡等光學(xué)設(shè)備。冷熱臺(tái)的溫控基于帕爾貼半導(dǎo)體溫控片（TEC），無(wú)需液氮制冷耗材即可達(dá)到-40℃，適合長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)。冷熱臺(tái)使用25 mm x 75 mm標(biāo)準(zhǔn)載玻片，并可進(jìn)行顯微鏡下樣品精密移動(dòng)。TS102GXY的熱臺(tái)上蓋與臺(tái)體構(gòu)成一個(gè)氣密腔，TS102VXY的則是真空腔，腔內(nèi)可以充入保護(hù)氣體或抽真空（依據(jù)不同型號(hào)），來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜。

半導(dǎo)體冷熱臺(tái)功能特點(diǎn)

適用于顯微鏡等光學(xué)設(shè)備

TEC半導(dǎo)體溫控片，降溫時(shí)無(wú)需液氮制冷耗材，適合長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)

-40℃~120℃可編程控溫（無(wú)需制冷耗材）

適用25 mm x 75 mm標(biāo)準(zhǔn)載玻片

在XY方向移動(dòng)樣品的微分移動(dòng)尺

可充入保護(hù)氣體的氣密腔（另有真空腔型號(hào)）

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

溫控參數(shù)

溫度范圍 -20℃~120℃標(biāo)配

-40℃~120℃可選

加熱塊材質(zhì)氧化鋁

傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制

最大加熱/制冷速度+60℃/min（37℃時(shí)）

-20℃/min（37℃時(shí)）

最小加熱/制冷速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃

溫度穩(wěn)定性±0.05℃

軟件功能 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

光學(xué)參數(shù)

適用光路 透射光路和反射光路

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離5.6 mm*截面圖中WD

最小聚光鏡工作距離13.6 mm*截面圖中CWD

透光孔φ5 mm*截面圖中φVA

上蓋窗片觀察窗片范圍φ27mm，最大視角±60°*截面圖中θ1

底部窗片觀察最大視角±13°*截面圖中θ2

負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱區(qū)/樣品區(qū) 40 mm x 40 mm

樣品腔高3.5 mm不放內(nèi)蓋

2.0 mm放內(nèi)蓋

*樣品最大厚度=樣品腔高–載玻片厚度

樣品襯底默認(rèn)為25 mm x 75 mm標(biāo)準(zhǔn)載玻片

*可根據(jù)用戶使用需求更換為其他

放樣水平抽出上蓋后置入樣品

樣品XY移動(dòng)尺可在顯微鏡下移動(dòng)樣品，分辨率10μm，行程10mm

外殼冷卻通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式水平安裝或垂直安裝

臺(tái)體尺寸/重量169 mm x 96 mm x 25 mm

800g（TS102GXY），900g（TS102VXY）

配置列表

基本配置 TS102GXY/TS102VXY冷熱臺(tái)、mK2000B溫控器、

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

可選配件 冷熱臺(tái)安裝支架、真空系統(tǒng)（僅用于真空型號(hào)）

適用范圍

用于搭配Instec冷熱臺(tái)、Instec溫控探針臺(tái)、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。

溫控配件系列

安裝支架：用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上

mK2000B溫控器，含InstecAPP溫控軟件，溫控裝置必選

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)，帕爾貼式溫控裝置必選

MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機(jī)，含控制軟件

LWDC2長(zhǎng)工作距離聚光鏡

真空系統(tǒng)：包括真空泵+真空管路，用于真空型溫控裝置

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時(shí)，外殼/底座溫度會(huì)被帶得很燙/很涼，危害周遭人員設(shè)備甚至設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近，能有效預(yù)防此災(zāi)害。

mK2000B溫控器

支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨(dú)立的多段PID控制、可保存4套20段校準(zhǔn)表等特點(diǎn)?？瑟?dú)立控制，也可從InstecAPP軟件控制。

溫度分辨率±0.001℃(熱敏電阻)，±0.01℃(RTD)，±0.1℃(熱電偶)

控制接口USB虛擬串口可選其他接口

可選項(xiàng)LVDC線性可調(diào)直流電源，用于降低電噪音

溫控軟件 InstecAPP，可提供多語(yǔ)言SDK

安裝支架

針對(duì)用戶設(shè)備定制，可讓熱臺(tái)水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用戶設(shè)備皆可適用。通常有：

圓環(huán)式（用于圓形載物臺(tái)），平板式（用于方形載物臺(tái)）、

載物臺(tái)式（用于代替設(shè)備載物臺(tái)）、立式（用于水平光路）。