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磊晶處理后的滑線檢查技術
閱讀：1171 發(fā)布時間：2022-6-16磊晶處理后的滑線檢查技術
高倍率表面缺陷檢測設備（放大魔鏡）
YIS 系列的高倍率檢測設備可在螢幕上呈現(xiàn)一個10mm的視場。
特別廣泛應用于磊晶處理后的滑線檢查。同時也適用于硬碟或光學拋光元件。
檢測靈敏度約相當于50倍的微分干涉像差顯微鏡。
特別廣泛應用于磊晶處理后的滑線檢查。同時也適用于硬碟或光學拋光元件。
檢測靈敏度約相當于50倍的微分干涉像差顯微鏡。
即時顯示所有表面狀態(tài)。
光學系統(tǒng)對應等級１。
光學系統(tǒng)無須維護。
根據(jù)檢測內容，可修正檢測靈敏度。
詢問此產品的型錄
| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標準設備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續(xù)調整 |
| 使用光源 | 550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺（標準設備） |
用途
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
選配
| 電動馬達檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機 |