日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3
熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測量熱導(dǎo)率的裝置，熱導(dǎo)率是熱物理性質(zhì)值之一。
它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測量樣品的熱性能的設(shè)備。
也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3

特征

• 熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測量熱導(dǎo)率的裝置，熱導(dǎo)率是熱物理性質(zhì)值之一。
• 它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測量樣品的熱性能的設(shè)備。
• 也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
• 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測量的設(shè)備。
• 利用檢測到的3μm的光斑直徑，可以在高分辨率的微小區(qū)域中測量熱物理性質(zhì)（點(diǎn)/線/表面測量）。
• 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
• 您也可以測量基材上的樣品。
• 激光非接觸式測量。
• 可以檢測薄膜下方的裂縫，空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

1. 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強(qiáng)度的變化，來測量表面的相對溫度變化。去做。
2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。?

日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3

主要規(guī)格

名稱/產(chǎn)品名稱	熱物理顯微鏡/熱顯微鏡
測量方式	熱物理性質(zhì)分布測量（1維，2維，1點(diǎn)）
測量項(xiàng)目	熱滲透率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率）
檢測光斑直徑	約3μm
1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間	10秒
待測薄膜	厚度幾百納米到幾十微米
重復(fù)精度	耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％
樣品	1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi)，厚度3mm以內(nèi) 需要對樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
工作溫度極限	24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器）
平臺(tái)移動(dòng)距離	? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm
加熱激光	半導(dǎo)體激光波長：808nm
檢測激光	半導(dǎo)體激光波長：658nm
電源供應(yīng)	交流100V 1.5kVA
標(biāo)準(zhǔn)配件	樣品架，參考樣品
選項(xiàng)	光學(xué)壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置

• 性能和外觀如有更改，恕不另行通知。?