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行業(yè)產(chǎn)品

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當(dāng)前位置:
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[供應(yīng)]NIR/EUV-波前曲率傳感器
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  • NIR/EUV-波前曲率傳感器
貨物所在地:
北京北京市
更新時間:
2025-06-24 14:32:59
有效期:
2025年6月24日 -- 2025年9月24日
已獲點擊:
29
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(聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

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產(chǎn)品簡介

波前曲率傳感器/壓電驅(qū)動微動平臺,裝配CCD相機(jī),光束方向快速移動,臨近位置光束剖面/形貌分析,波前推導(dǎo)CCD像素級分辨,光束傳播參數(shù)分析(M2、瑞利長度、束腰直徑),Zernike分析畸變控制,采用自我參考法,無光束相干要求,緊湊式設(shè)計,在線檢測。

詳細(xì)介紹

波前曲率傳感器


主要特點

       波前曲率傳感器壓電驅(qū)動微動平臺,裝配CCD相機(jī)

       光束方向快速移動

       臨近位置光束剖面/形貌分析

       波前推導(dǎo)CCD像素級分辨

       光束傳播參數(shù)分析(M2、瑞利長度、束腰直徑)

       Zernike分析畸變控制

       采用自我參考法

       無光束相干要求

       緊湊式設(shè)計,在線檢測


操作原理


波前曲率傳感器


波前曲率傳感器技術(shù)規(guī)格

       CCD相機(jī)USB3.0通訊

       空間分辨率<10um

       多種傳感器覆蓋光譜范圍:1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

       實時波前分析

       測試依據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)


光束測試軟件

波前曲率傳感器


測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)

Parameter

Standard

Beam diameter光束直徑

ISO 11146

Divergence

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性

ISO 11670

M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

-

Around 20 various camera types are supported







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