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產(chǎn)品簡介
1200°C三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達到10-2torr。
詳細介紹
| 殼體結構 |  |
| 功率 | 5KW |
| 電壓 | AC 208-240V單相，50/60Hz |
| 加熱元件 | Fe-Cr-A1 Alloy doped by Mo |
| *工作溫度 | 1200°C |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100°C |
| *加熱速率 | <=20°C/min |
| 石英管&密封法蘭 |  |
| 加熱區(qū)長度 | *三個溫區(qū)長度：（880mm，35“in total） *溫區(qū)1:220mm（8.6“） *溫區(qū)2:440mm（17.3“） 溫區(qū)3:220mm（8.6“）注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為改設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系 |
| 溫控系統(tǒng) |  |
| 控溫精度 | +/-1°C |
| 真空密封系統(tǒng) |  |
| 真空泵 | 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有進口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米
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| 數(shù)字式真空顯示計 |  |
| 氣體流量計和壓力表 |  |
| 閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上，用于控制氣體的流量 |
| 外形尺寸 | 爐子：1100*450*670mm 底部移動架：600*600*597mm |
| 開門斷電 |  |
| 凈重 | 約90Kg |
| 運輸重量 | 2451bs |
| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
| 質量認證 | CE認證 |
