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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 紅外燈管加熱 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內(nèi)部尺寸 | 外徑?120mmmm | 升溫速度（達到最高溫） | 1/min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 文體 |
| 最大功率 | 9000kW | 最高溫度 | 1000℃ |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
小型1000℃RTP管式爐是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4"石英管和真空法蘭，是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（大3"）的退火而設(shè)計。本機采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 50℃/s，設(shè)有30段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過RS485口和控制軟件可在計算機上實現(xiàn)實時控制和溫度曲線顯示。
小型1000℃RTP管式爐技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) |
1、電源：208V-240V AC，50Hz/60Hz單相，功率9KW（>60A保險） 2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷） 3、石英管：外徑?110mm， 4、加熱元件：紅外燈管， 5、恒溫區(qū)：200mm×300mm，均勻性±5℃ 6、熱偶：K型熱偶 7、溫度：設(shè)計溫度1100℃，常用900℃ 8、控溫精度：±1℃ 9、升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s， 10、真空度：50mtorr（機械泵），10-4torr（分子泵） 11、真空法蘭： 高真空不銹鋼法蘭，配有兩個高溫O型圈密封 12、流量計：16ml/min-160ml/min 13、真空計：數(shù)字真空計 14、水冷：如要求通冷卻水，請） | ||
主要特點
1、內(nèi)爐膛表面涂有進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率，同時可延長其使用壽命。 2、石英樣品架固定在滑動法蘭上，使樣品裝載更加容易。 3、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準確性。 4、采用PID自動溫度控制，30段程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護功能及自整定功能。 |
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