目錄:青島天仁微納科技有限責(zé)任公司>>納米壓印配套設(shè)備>> 150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備
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更新時(shí)間:2025-07-30 13:45:01瀏覽次數(shù):1078評(píng)價(jià)
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全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理;
Cassette to cassette機(jī)械手自動(dòng)上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能;
毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗;
旋涂勻膠,包含自動(dòng)供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能;
熱板烘烤、冷板冷卻功能;
可選配Plasma表面處理功能。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)