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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
DS-2000/14G型光刻機(jī)該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品名稱(chēng)：DS-2000/14G型光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
單次曝光面積：1.4mm×1mm
大曝光基片：100mm ×100mm
對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm（半自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）
大膠厚：300μm（SU8膠）
自動(dòng)逐場(chǎng)對(duì)焦；
分辨力：1μm；
X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺(tái)
X、Y平移重復(fù)定位精度：0.65μm（3σ）
Z向運(yùn)動(dòng)精度：1μm
DS-2000/14G型光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)：
該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時(shí)使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機(jī)控制，菜單界面友好，操作簡(jiǎn)便。