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INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-模擬型
基于多年的經(jīng)驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學(xué)校和研究機構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-模擬型
您好！歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經(jīng)驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學(xué)校和研究機構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗。
我們還專門從事MFC的研究和生產(chǎn)，并進口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準(zhǔn)器，可以通過提供MFC專業(yè)維修和組裝來解決技術(shù)問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷，細(xì)致，可靠的服務(wù)，精誠合作，共同進步！
INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-模擬型
| 氣體質(zhì)量流量控制器 MF-200C | ||
| ?三維尺寸圖 | ||
| ?特征 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 200 Series | ||
| -響應(yīng)速度快 | ||
| -準(zhǔn)確度咼 | ||
| -穩(wěn)定的流量控制 | ||
| -寬壓力范圍 | ||
| -優(yōu)良的耐腐蝕性 | ||
| -出色的線性度 | ||
| -新型傳感制作工藝 | ||
| 單位：mm | ||
| "X"尺寸規(guī)格 | ||
| 接口規(guī)格 | mm | |
| l/8nLok | 122.7 | |
| l/4"Lok | 1273 | |
| 3/8HLok | 130.4 | |
| l/2"Lok | 134.4 | |
| 1/4"VCR | 123.8 | |
| 1/2"VCR | 131.4 | |
| • Sccm,Slm表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| ?產(chǎn)品規(guī)格 | ||
| 型號 | MF-200C | |
| 流量規(guī)格（N2 ） 控制量程 準(zhǔn)確度 線性精度 重復(fù)精度 響應(yīng)時間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質(zhì) 預(yù)熱時間 | 10SCCM-30SLM 2%~100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale(20 , 30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0-100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 15Vdc or 24Vdc/300mA 0-5V or4-20mA Viton/Buna/Ka 1 rez/T eflon/Epd m Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , 1/8" , 3/8nl/2"LOK l/4"l/2nVCR Analog Type SUS 316L 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min) | |
| ?電氣連接 | ||
| M3 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 200 Series | ||
| FLOW ? | ||
| 電氣連接方式 | I 電壓電流型 | |
| 編號 | 功能 | MF-200C |
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 15V/+24V 電源 | • |
| 3 | 空 | X |
| 4 | 信號公共端 | • |
| 5 | 閥控 | • |
| 6 | 0-5Vdc信號輸出 | • |
| 7 | 電源公共端 | • |
| 8 | 0-5Vdc信號輸入 | • |
| 9 | 空 | X |
| MASS FLOW Meter | ||