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ULVA低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發(fā)等應用領域的不同，從小型到大型有的產品陣容供您選擇。
特點
適合濺射應用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號（U10H）的2倍。
再生時間間隔延長意味著更高的可用性。
可以進行多個連接
產品簡介
詳細介紹
ULVAC愛發(fā)科低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發(fā)等應用領域的不同，從小型到大型有的產品陣容供您選擇。
特點
適合濺射應用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號（U10H）的2倍。
再生時間間隔延長意味著更高的可用性。
可以進行多個連接（多3個）。
新款ULVAC愛發(fā)科 標準低溫泵壓縮機單元
新款ULVAC愛發(fā)科 標準低溫泵壓縮機單元
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發(fā)設備、實驗設備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設備、濺射設備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機，冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣，使之循環(huán)。
ULVAC愛發(fā)科低溫泵型號：
