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磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。
OSAKA渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi)，附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列
渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi)，附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。 同時，從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子，也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是，上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度，而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域，渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能
主要特點
?無油的超真空環(huán)境
?機(jī)械式的氣體分子排氣(動態(tài)排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
?可排稀有氣體和腐蝕性氣體
?可連續(xù)排大流量氣體
?可工作的壓力范圍寬。 (～10-10Pa）.
OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列
使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。
TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
新型磁懸浮軸承型渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特長
省電力設(shè)計
工作數(shù)據(jù)，軸承接觸次數(shù)，機(jī)種情報等都可存儲于分子泵本體 ※進(jìn)行保養(yǎng)時即使更換控制器，數(shù)據(jù)也可進(jìn)行轉(zhuǎn)移
多種通信規(guī)格(可對應(yīng)EtherCAT)
國際規(guī)格
符合CE，SEMI-S2，NRTL規(guī)格
應(yīng)用場合：
半導(dǎo)體制造設(shè)備
FPD制造設(shè)備
太陽能電池制造設(shè)備
玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
薄膜加工
加速器/宇宙環(huán)境實驗設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：
