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UOTEST DCH-196 高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在高低溫環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備?？梢栽谡婵盏沫h(huán)境中提供 -196 度的極低溫度，在特殊材料，半導(dǎo)體器件等方向具有廣泛運(yùn)用。
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
UOTEST DCH-196 高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在高低溫環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備?？梢栽谡婵盏沫h(huán)境中提供 -196 度的極低溫度，在特殊材料，半導(dǎo)體器件等方向具有廣泛運(yùn)用。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
? 防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)
? 液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共 同控制溫度
? 降溫速度快，常溫降至 77k<25mins，大大提高測(cè)試效率
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
詳細(xì)參數(shù)：
