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鐳測(cè)科技Leice雙頻激光干涉儀LH1000雙頻激光干涉儀專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測(cè)量系統(tǒng)；
通過國(guó)家重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝"項(xiàng)目驗(yàn)收。
采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
非線性高精密測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量更精準(zhǔn)；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測(cè)量速度需要。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測(cè)量系統(tǒng)；
通過國(guó)家重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝"項(xiàng)目驗(yàn)收。
采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
非線性高精密測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量更精準(zhǔn)；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測(cè)量速度需要。
光源和測(cè)量信號(hào)接收單元分體式設(shè)計(jì)，方便搭建XY位移臺(tái)等多軸測(cè)量系統(tǒng)；
精巧的測(cè)量信號(hào)光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；
標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。
型號(hào) | 頻差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 穩(wěn)頻精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
北京鐳測(cè)科技有限公司為您提供鐳測(cè)科技Leice激光干涉儀LH1000雙頻激光干涉儀的參數(shù)、價(jià)格、型號(hào)、原理等信息，鐳測(cè)科技Leice激光干涉儀LH1000雙頻激光干涉儀產(chǎn)地為北京、品牌為鐳測(cè)科技，型號(hào)為L(zhǎng)H1000雙頻激光干涉儀，更多相關(guān)信息可聯(lián)系公司客服電話7*24小時(shí)為您服務(wù)！