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產(chǎn)品簡介
鐳測科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；以光刻機(jī)用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率性能的同時，將光源和測量信號接收處理單元集成在主機(jī)里，一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；典型頻差7±0.5 MHz，測速高達(dá)2m/s。
詳細(xì)介紹
鐳測科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；以光刻機(jī)用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率的同時，將光源和測量信號接收處理單元集成在主機(jī)里，一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；典型頻差7±0.5 MHz，測速高達(dá)2m/s。
系統(tǒng)組成：
鐳測科技雙頻激光干涉儀 LH2000激光測頭及附件
環(huán)境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件
| 激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
| 激光頭重量 | 3.3kg |
| 激光光束直徑 | 6mm |
| 激光功率 | >0.5mw |
| 真空波長 | 632.99nm |
| 頻差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
| 工作溫度范圍 | +10℃~+30℃ |
| 儲存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |
| 激光穩(wěn)頻精度 | ±0.02ppm |
| 線性測量范圍 | 40m |
| 線性測量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補償器) |
| 分辨率 | 1nm |
| 測量速度 | 2m/s |
| 工作電源 | 220V/50Hz |
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