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支持半導(dǎo)體制造的超純水是什么?清洗工序約占半導(dǎo)體制造工序的30%,采用“超純水”(UPW),最大限度地去除雜質(zhì)。超純水是通過(guò)最大限度地去除天然水中的雜質(zhì)而得到凈化的水。自來(lái)水中含有溶解的各種物質(zhì),包括鈣、鎂等礦物質(zhì)以及氯等消毒劑。這些雜質(zhì)會(huì)嚴(yán)重?fù)p害半導(dǎo)體制造等精密工藝中的產(chǎn)品質(zhì)量。因此,在半導(dǎo)體制造等要求高純度的領(lǐng)域,去除有機(jī)物、微粒、溶解氣體等,使離子更接近氫離子(H+)和氫氧根離子(OH-)。被使用。半導(dǎo)體制造涉及一系列復(fù)雜的工藝,需要極其先進(jìn)的技術(shù)。超純水是該制造過(guò)程的重要組成部分。在半導(dǎo)
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什么是渦輪分子泵?渦輪分子泵的特點(diǎn)渦輪分子泵是真空泵的一種,由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片和靜止的固定葉片組成。轉(zhuǎn)子葉片以每秒數(shù)萬(wàn)次的驚人速度旋轉(zhuǎn),通過(guò)使氣體分子飛走而形成真空。然而,這種高速旋轉(zhuǎn)會(huì)給處于大氣壓下的轉(zhuǎn)子葉片帶來(lái)很大的負(fù)載,從而造成損壞。因此,渦輪分子泵必須在預(yù)先已形成一定真空度的環(huán)境中使用,并與干泵或旋轉(zhuǎn)泵等輔助泵組合使用。優(yōu)點(diǎn)渦輪分子泵在半導(dǎo)體制造工藝中展示了其真正的價(jià)值。高速旋轉(zhuǎn)的刀片快速排出在硅片上形成精細(xì)電路圖案時(shí)產(chǎn)生的氣體,從而可以制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件。此外,在科學(xué)研究領(lǐng)域,我
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神港精機(jī)SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設(shè)備
神港精機(jī)SHINKOSEIKI--ICP金屬蝕刻設(shè)備這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統(tǒng)“SERIO”的基本結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ),針對(duì)金屬定制了腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體系統(tǒng)的最新蝕刻系統(tǒng)。兼容最新的半導(dǎo)體和MEMS工藝,我們實(shí)現(xiàn)了Al和Cr的納米級(jí)線(xiàn)寬蝕刻。與傳統(tǒng)的SERIO相比,它可以蝕刻廣泛的基材和應(yīng)用,包括除Si晶圓之外的基材、藍(lán)寶石和GaAs等化合物半導(dǎo)體晶圓、光掩模用玻璃和石英。與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類(lèi)型是標(biāo)準(zhǔn)配置,并且可以根據(jù)工藝進(jìn)行定制,例如加熱臺(tái)和更大的腔室。與經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的多室系統(tǒng)相結(jié)合,可以非 -
SHINKO SEIKI神港--電弧絲式離子鍍裝置(AF-IP裝置)
SHINKOSEIKI神港--電弧絲式離子鍍裝置(AF-IP裝置)這是一種新型離子鍍?cè)O(shè)備,利用PVD實(shí)現(xiàn)了過(guò)去只能利用CVD才能實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的膜類(lèi)型(厚氧化膜、碳化膜等)?!半娀艚z型離子鍍裝置”通過(guò)蒸發(fā)粒子與蒸發(fā)源上的熱電子碰撞,有效地使蒸發(fā)粒子離子化。此外,通過(guò)引入的氣體與電離的蒸發(fā)顆粒之間的反應(yīng),可以形成各種致密且高粘附性的反應(yīng)膜(氮化物膜、氧化物膜、碳化物膜、碳氮化物膜)?,F(xiàn)在可以形成厚的氧化膜,這對(duì)于傳統(tǒng)的電弧放電離子鍍?cè)O(shè)備來(lái)說(shuō)是困難的。可以使用電弧絲型離子鍍?cè)O(shè)備形成的新型PVD薄膜預(yù)計(jì) -
ULVAC愛(ài)發(fā)科--什么是液氮發(fā)生器
ULVAC愛(ài)發(fā)科--什么是液氮發(fā)生器液氮發(fā)生器一貫以來(lái)"氮?dú)赓?gòu)買(mǎi)"的固定概念,是一種通過(guò)"制作液氮"的方法帶來(lái)便利性和穩(wěn)定性等眾多優(yōu)點(diǎn)的劃時(shí)代的液氮制備裝置。液氮發(fā)生器通過(guò)直接連接用于保存細(xì)胞等生物樣本的液氮凍結(jié)保存容器,能夠?qū)崿F(xiàn)持續(xù)的液氮供給。而且,通過(guò)安裝備用電源,發(fā)生災(zāi)害時(shí)即使沒(méi)有電力供應(yīng)也可以進(jìn)行持續(xù)的液氮供給。針對(duì)非常貴重的樣品也能夠提供穩(wěn)定的冷凍保存。液氮發(fā)生器已經(jīng)得到了各大民間企業(yè)、大學(xué)研究所的認(rèn)可,在iPS細(xì)胞·組織·病毒·畜產(chǎn)相關(guān)的人工授精等的冷凍保存容器有廣泛的應(yīng)用。液氮發(fā)生 -
池田屋供應(yīng)??!日置HIOKI 粉末阻抗測(cè)量系統(tǒng)
池田屋供應(yīng)?。∪罩肏IOKI粉末阻抗測(cè)量系統(tǒng)該系統(tǒng)通過(guò)同時(shí)測(cè)量評(píng)估全固態(tài)電池材料和驗(yàn)證干法工藝所必需的關(guān)鍵參數(shù),顯著提高了材料評(píng)估的安全性和成本效率(*1)。它由一個(gè)小型壓機(jī)單元、多個(gè)測(cè)量單元和集成軟件組成,測(cè)量在手套箱內(nèi)完成(*2)。此外,它不僅降低了評(píng)估成本,還減少了工作時(shí)間,使得增加實(shí)驗(yàn)次數(shù)成為可能。該粉末阻抗測(cè)量系統(tǒng)工作效率提高,功能豐富,有望成為電動(dòng)汽車(chē)固態(tài)電池研究的創(chuàng)新工具。*1干法:不使用溶劑直接加工粉末材料來(lái)制造電極的制造方法。*2手套箱:將實(shí)驗(yàn)環(huán)境與外界隔離的密封小室。附在艙壁 -
橫河 可見(jiàn)光和近紅外高性能光譜分析儀 AQ6373E
橫河可見(jiàn)光和近紅外高性能光譜分析儀AQ6373E開(kāi)發(fā)背景光譜分析儀“AQ6373E”和“AQ6374E”基于我們?cè)谠擃I(lǐng)域40多年積累的技術(shù)和專(zhuān)業(yè)知識(shí),專(zhuān)為可見(jiàn)光范圍內(nèi)的醫(yī)療、生物和材料加工應(yīng)用而設(shè)計(jì)它的開(kāi)發(fā)是為了滿(mǎn)足在紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量新型光學(xué)設(shè)備和組件不斷增長(zhǎng)的需求。在繼承現(xiàn)有型號(hào)“AQ6373B”和“AQ6374”的特點(diǎn)的同時(shí),我們還提高了可操作性,這些型號(hào)具有高波長(zhǎng)分辨率和寬近場(chǎng)動(dòng)態(tài)范圍,被高度評(píng)價(jià)為激光光譜測(cè)量?jī)x器。其背景是,激光和LED等發(fā)光器件在醫(yī)療和生物領(lǐng)域的使用不斷擴(kuò)大,在開(kāi)發(fā)和 -
YOKOGAWA橫河 AC/DC分體式電流傳感器“CT1000S”
YOKOGAWA橫河AC/DC分體式電流傳感器“CT1000S”開(kāi)發(fā)背景近年來(lái),能源效率在所有行業(yè)中變得越來(lái)越重要,特別是在電動(dòng)汽車(chē)、鐵路和可再生能源等大電流應(yīng)用中,需要更精確的功率測(cè)量。我們現(xiàn)有的高精度大電流傳感器CT系列與功率分析儀等測(cè)量?jī)x器結(jié)合使用,可測(cè)量多個(gè)通道的AC/DC大電流,有助于提高功率效率。對(duì)于傳統(tǒng)產(chǎn)品,在將被測(cè)物體安裝或從測(cè)試物體上取下時(shí),需要對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行物理切割。新開(kāi)發(fā)的“CT1000S”采用可分割的傳感器核心形狀,無(wú)需物理切割待測(cè)物體,從而更容易、更準(zhǔn)確地進(jìn)行寬帶、大電