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什么是多級羅茨式干真空泵？
多級羅茨真空泵是在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。
多級羅茨式干式真空泵的特點
羅茨干式真空泵是集成了多級機械增壓泵的干式真空泵。使用三葉轉子的羅茨型干真空泵能夠通過將多個轉子連接到單個軸來將空氣壓縮和排氣至大氣壓。轉子外殼內不使用油或其他密封液體，可實現(xiàn)清潔排氣。齒輪和軸承中使用油進行潤滑，但密封結構的設計是為了防止油進入殼體。
【優(yōu)點】可以獲得潔凈的真空，從常壓到極限壓力都可以使用。
【缺點】在容積效率方面，不如接觸式泵。
多級羅茨干式真空泵的主要應用領域
FPD制造設備、半導體制造設備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。
多級羅茨式干式真空泵的機構
氣體由高速旋轉的轉子輸送
該泵有兩個三葉轉子（旋轉體），安裝在一個稱為外殼的盒子中，它們通過一對齒輪以相同的頻率沿相反的方向旋轉。轉子彼此不接觸，或者轉子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時旋轉以傳送和壓縮氣體。轉子具有多級結構，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。
