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應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

住友低溫泵半導(dǎo)體專用可提供維修保養(yǎng)服務(wù)/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵

產(chǎn)品特點：

專為 PVD 應(yīng)用而設(shè)計

與上一代型號相比，降低了壓縮機功耗，并提高了低溫泵的氣體容量

出色的雙逆變器技術(shù)允許在正常熱負荷運行條件下，最多 5 臺低溫泵與 1 臺 TM-30 壓縮機配對

或 11 臺低溫泵與 1 臺 TM-50 壓縮機配對，從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源

應(yīng)用：

物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）

離子注入是制造半導(dǎo)體晶圓和其他集成電路至關(guān)重要的低溫表面處理工藝

半導(dǎo)體專用：

智能手機和平板電腦（包括內(nèi)置的加速度計和陀螺儀）

電視、藍光播放器和視頻游戲機

電腦、存儲卡和 USB 閃存盤

汽車導(dǎo)航和安全氣囊傳感器、醫(yī)療和通信設(shè)備、工業(yè)機器人等等

住友低溫泵半導(dǎo)體專用可提供維修保養(yǎng)服務(wù)

我司主打品牌明細表：

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