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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
SE-VE 光譜橢偏儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： SE-VE 是一款、快速測(cè)量光譜橢偏儀，緊湊集成設(shè)計(jì)，使用簡(jiǎn)便，可一鍵快速測(cè)量 表征各式光學(xué)薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等信息。高性價(jià)比光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案，緊湊集成化設(shè)計(jì)，用 戶操作體驗(yàn)，一鍵快速測(cè)量分析，人機(jī)交互設(shè)計(jì)，使用便捷，豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù)，保證強(qiáng)大 數(shù)據(jù)分析能力，廣泛應(yīng)用于科研/企業(yè)中各種單層到多層薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等快速表征分析。
產(chǎn)品型號(hào) | SE-VE 光譜橢偏儀 |
主要特點(diǎn) | 1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源，光譜覆蓋可見(jiàn)到近紅外范圍 2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、 PCRSA 配置， 實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 |
3、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、自動(dòng)化程度：固定角 2、應(yīng)用定位：經(jīng)濟(jì)型 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R 等光譜 |
4、分析光譜： 400-800nm | |
5、單次測(cè)量時(shí)間： 0.5-5s | |
6、重復(fù)性測(cè)量精度： 0.05nm 7、光斑大?。?/span> 大光斑 1-3mm 8、入射角調(diào)節(jié)方式：固定角 |
9、入射角范圍： 65° | ||
10、找焦方式：手動(dòng)找焦 11、Mapping 行程：不支持 12、支持樣件尺寸： 至 160mm | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺(tái) |
2 | 真空泵 | |
3 | 透射吸附組件 | |