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mfc300-熱式氣體質(zhì)量流量控制器
  • mfc300-熱式氣體質(zhì)量流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

產(chǎn)地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

更新時間:2025-02-11 11:54:39

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愛拓利AITOLY是一家質(zhì)量流量計和控制器的專業(yè)研發(fā)制造商。愛拓利專注于微小流量測量與控制,擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的傳感器、高精度比例閥等,研發(fā)生產(chǎn)的質(zhì)量流量計及流量控制器,在工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域已穩(wěn)定運行十?dāng)?shù)年。目前主營產(chǎn)品有熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 和MFC330,皂膜流量標(biāo)準(zhǔn)裝置等。

MFC300熱式氣體質(zhì)量流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

熱式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點

超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預(yù)熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


TECHNICAL PARAMETERS
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準(zhǔn)確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應(yīng)時間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時間
    300ms
  • 預(yù)熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式



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