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德國(guó)OPTRIS高精度短波紅外熱像儀的測(cè)量精度和產(chǎn)品特性是什么

2025-8-5  閱讀(56)

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德國(guó) OPTRIS 高精度短波紅外熱像儀(以 PI 1M、PI 05M、PI 08M 等系列為代表)專為金屬、熔融物、半導(dǎo)體、增材制造等高溫或高反射表面的非接觸測(cè)溫而設(shè)計(jì),憑借 0.5–1.1 μm 的超短波紅外窗口,顯著提高了金屬發(fā)射率并抑制環(huán)境反射誤差,從而把系統(tǒng)測(cè)量精度推進(jìn)到“讀數(shù)的 ±0.5 %~±1 %"水平,在 23 °C 環(huán)溫、發(fā)射率≥0.8 的標(biāo)定條件下,PI 1M 對(duì) <1400 °C 目標(biāo)可實(shí)現(xiàn) ±1 % 的絕對(duì)精度,重復(fù)性優(yōu)于 0.3 %,噪聲等效溫差(NETD)≤75 mK(700 °C 時(shí)),達(dá)到實(shí)驗(yàn)室級(jí)測(cè)試要求。
一、測(cè)量精度的技術(shù)根基
  1. 光譜選擇:1 μm(PI 1M)、0.8 μm(PI 08M)、0.52 μm(PI 05M)短波波段,金屬表面在該波段發(fā)射率比傳統(tǒng) 8-14 μm 區(qū)域高 3-10 倍,從根本上降低了反射背景帶來的誤差。
  2. 高靈敏度 CMOS 探測(cè)器:像元尺寸 15 μm,動(dòng)態(tài)范圍 14 bit,配合低噪聲前端模擬電路,使系統(tǒng) NETD 達(dá)到亞開爾文級(jí)。
  3. 實(shí)時(shí)兩點(diǎn)/多點(diǎn)非均勻性校正(NUC)與自動(dòng)黑體漂移補(bǔ)償:內(nèi)置 30 mm 腔式黑體,可在運(yùn)行間隙自動(dòng)校準(zhǔn),長(zhǎng)期穩(wěn)定性 <±0.3 %/年。
  4. 數(shù)字補(bǔ)償算法:OPTRIS PIX Connect 軟件內(nèi)置發(fā)射率表、環(huán)境輻射補(bǔ)償、透射率修正、光學(xué)路徑溫度補(bǔ)償模型,保證現(xiàn)場(chǎng)復(fù)雜工況下的數(shù)據(jù)真實(shí)性。
二、產(chǎn)品特性全景
  1. 量程與速度
    • PI 1M:450 – 1800 °C 全程無子區(qū)間,32 Hz@764×480、80 Hz@382×288、1 kHz 線掃描 764×8,1 ms 響應(yīng)時(shí)間,既滿足實(shí)驗(yàn)室精細(xì)研究,也勝任軋鋼、激光熔覆等高速場(chǎng)景。
    • PI 05M:900 – 2450 °C,0.5–0.54 μm,專為熔融金屬、單晶爐、硅熔測(cè)溫設(shè)計(jì)。
    • PI 08M:575 – 1900 °C,0.8 μm,對(duì) NIR 激光與 CO? 激光不敏感,可直接監(jiān)控激光選區(qū)熔化(SLM)、激光焊接過程。
  2. 空間分辨能力與視場(chǎng)
    可更換鏡頭組(16 mm、25 mm、50 mm、75 mm),F(xiàn)OV 從 6°×4° 到 82°×64°;最小像元對(duì)應(yīng) 0.68 mrad,可在 1 m 距離分辨 0.7 mm 目標(biāo),滿足芯片鍵合、微裂紋檢測(cè)等高空間分辨率需求
  3. 機(jī)械與接口設(shè)計(jì)
    • 46 mm×56 mm×90 mm 鋁制外殼,重量 320 g,IP67 防護(hù),可選不銹鋼水冷套與空氣吹掃,適配鋼鐵廠 80 °C 環(huán)境溫度。
    • USB2.0、千兆以太網(wǎng)、Camera Link、0-10 V 模擬輸出、RS485 多接口并行;工業(yè)級(jí) PIF 模塊提供 3 路繼電器、3 路 4-20 mA 輸出,無縫接入 PLC、DCS。
    • 電動(dòng)遠(yuǎn)程調(diào)焦:電機(jī)行程 5 mm,重復(fù)定位精度 ±10 µm,可在高溫爐壁、真空腔體等危險(xiǎn)區(qū)域遠(yuǎn)程聚焦。
  4. 軟件生態(tài)
    • PIX Connect:實(shí)時(shí)顯示、多點(diǎn)測(cè)溫、線溫分布、趨勢(shì)分析、報(bào)警記錄、SDK(C++/C#/LabVIEW)開放;支持 OPC UA、Modbus TCP,實(shí)現(xiàn)工業(yè) 4.0 數(shù)據(jù)上云。
    • 二次開發(fā):提供 200 余項(xiàng) API,可在 10 ms 內(nèi)獲取全幅溫度矩陣,滿足科研用戶的實(shí)時(shí)閉環(huán)控制需求。
  5. 行業(yè)認(rèn)證與可靠性
    • 通過 CE、RoHS、IEC 60068-2-27(25 g 沖擊)、IEC 60068-2-6(寬頻振動(dòng))認(rèn)證;平均時(shí)間 > 100,000 h
    • 模塊化易維護(hù)設(shè)計(jì):鏡頭窗口采用可更換藍(lán)寶石玻璃,現(xiàn)場(chǎng) 30 秒完成清潔;探測(cè)器組件獨(dú)立插拔,維護(hù)停機(jī)時(shí)間 < 5 分鐘。
三、典型應(yīng)用案例
• 鋼鐵熱軋:PI 1M 以 1 kHz 線掃描模式監(jiān)測(cè) 1100 °C 鋼板表面溫度,閉環(huán)控制軋輥冷卻水,厚度偏差從 ±20 μm 降至 ±5 μm。
• 激光增材制造:PI 08M 在 0.8 μm 波段同步測(cè)量熔池 1600 °C 溫度分布,實(shí)時(shí)補(bǔ)償激光功率,孔隙率下降 35 %。
• 半導(dǎo)體 RTP 工藝:PI 05M 通過 0.52 μm 波段測(cè)量硅片表面 1200 °C,控溫精度 ±3 °C,提高芯片良率 7 %。
四、選型與使用建議
  1. 若關(guān)注 500 °C 以下金屬或反射的鋁、銅,推薦 PI 1M 配 0.8-1.1 μm 濾波片,并配合黑體在線校準(zhǔn)。
  2. 若需 2000 °C 以上熔融金屬,直接選 PI 05M 并在窗口加鍍 0.5-0.54 μm 窄帶濾光片。
  3. 對(duì)激光加工場(chǎng)景,務(wù)必選擇 PI 08M 并啟用激光安全模式,軟件自動(dòng)屏蔽激光波段的干擾輻射。
總結(jié):OPTRIS 短波紅外熱像儀以亞微米級(jí)短波光譜、±0.5 %-±1 % 的測(cè)量精度、1 kHz 超高速采樣和完備的工業(yè)接口,成為金屬、激光、半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域溫度監(jiān)測(cè)與過程控制的解決方案,其一體化、模塊化、智能化設(shè)計(jì)更讓用戶可以在苛刻的工況下依然獲得實(shí)驗(yàn)室級(jí)的數(shù)據(jù)可靠性。


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