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SID4-UV-HR是Phasics針對半導體應(yīng)用市場需求推出的高性能的紫外波前分析儀，波長范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為13.3X13.3mm2，提供512X512的采樣率，同時能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品大的靶面設(shè)計及高達512X512的相位分辨率，滿足了目前半導體紫外鏡頭的表征測試需求；
應(yīng)用領(lǐng)域：193nm激光光束測量
半導體設(shè)備用鏡頭測量
半導體表面缺陷測量
SID4-UV-HR指標規(guī)格 | |
波長范圍 | 190nm~400nm |
靶面尺寸 | 13.3X13.3mm2 |
相位空間分辨率 | 26um |
相位譜&光強譜采樣率 | 512X512 |
相位分辨率 | <2nm RMS |
精度 | 20nm RMS |
采樣頻率 | 15fps |
實時相位輸出頻率 | 3fps（全分辨率） |
通信接口 | USB3.0 |
尺寸 | 80.3 x 78.6x 108.2mm3 |
重量 | 約600g |
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