蔡司ZEISS XENOS 高精度橋式三坐標測量機

蔡司ZEISS XENOS 高精度橋式三坐標測量機

ZEISS XENOS：重新定義工業(yè)計量精度邊界

作為蔡司計量產(chǎn)品線的旗艦機型，ZEISS XENOS橋式三坐標測量機代表著當(dāng)前工業(yè)計量技術(shù)的最高成就。其突破性的設(shè)計理念將測量精度推進至納米級范疇，在航空航天、光學(xué)精密制造、半導(dǎo)體設(shè)備等領(lǐng)域樹立了新的行業(yè)標準。

革命性的結(jié)構(gòu)設(shè)計

設(shè)備采用整體式零膨脹陶瓷基座，配合主動溫控系統(tǒng)（ACT-TEMP）實現(xiàn)±0.01K的溫度穩(wěn)定性。XENOS-CORE框架結(jié)構(gòu)通過有限元優(yōu)化，使動態(tài)剛度達到傳統(tǒng)機型的5倍，有效抑制測量過程中的微振動干擾。磁懸浮驅(qū)動系統(tǒng)（MAG-DRIVE）摒棄傳統(tǒng)摩擦傳動，定位分辨率達到驚人的0.01μm。

納米級測量系統(tǒng)

搭載第七代VAST-XT gold測頭系統(tǒng)，采用金剛石涂層探針和光學(xué)編碼器技術(shù)，實現(xiàn)0.05μm的單點重復(fù)精度。創(chuàng)新的XTR多傳感技術(shù)可自動切換接觸式測量與光學(xué)掃描模式，在復(fù)雜曲面測量時仍能保持0.1μm的輪廓精度。環(huán)境補償單元集成32通道傳感器網(wǎng)絡(luò)，實時修正溫度、氣壓、濕度等16項環(huán)境參數(shù)的影響。

智能控制平臺

配備ZEISS MMX操作系統(tǒng)，具備深度學(xué)習(xí)能力的自適應(yīng)路徑規(guī)劃功能，可預(yù)測工件變形并自動優(yōu)化測量軌跡。在線診斷系統(tǒng)（X-DIAG）通過3000+個監(jiān)測點實現(xiàn)設(shè)備健康狀態(tài)的實時評估，關(guān)鍵部件壽命預(yù)測準確度達95%。"計量模式"可暫時關(guān)閉所有非必要功能，在超精密測量時消除系統(tǒng)內(nèi)部電磁干擾。

典型應(yīng)用場景

• 極紫外光刻機光學(xué)元件面形檢測（PV值<10nm）

• 航空發(fā)動機單晶渦輪葉片型腔測量（公差帶±0.8μm）

• 引力波探測器反射鏡組裝調(diào)試

• 高能物理實驗裝置精密定位

通過德國PTB認證和ISO 17025標準，XENOS的年精度漂移量控制在0.2μm以內(nèi)，其建立的測量結(jié)果可直接作為國家計量基準的溯源依據(jù)。該設(shè)備現(xiàn)已應(yīng)用于全球23個國家的一級計量實驗室，成為工業(yè)4.0時代精密制造的基石裝備。