Fischione 1061 型 SEM 研磨機(jī)（離子研磨）

Fischione 1061 型 SEM 研磨機(jī)（離子研磨）

Fischione 1061 型 SEM 研磨機(jī)（離子研磨）

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產(chǎn)品代碼： 型號1061

制造商： Fischione

 限度的維護(hù) - 

 由于電離效率高，TrueFocus 離子源的維護(hù)成本極低，組件使用壽命極長。離子源濺射的物質(zhì)幾乎可以忽略不計(jì)，從而最大限度地減少了樣品污染和組件維護(hù)。自動(dòng)關(guān)閉功能可防止濺射物質(zhì)在觀察窗上堆積。所有系統(tǒng)組件均可輕松進(jìn)行日常清潔。

可編程 - 樣品可360°旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)，并具有樣品搖擺功能。儀器自動(dòng)感應(yīng)樣品厚度并確定研磨平面，從而最大限度提高處理量。磁編碼器提供絕對定位精度。

自動(dòng)終止—— 離子銑削過程可以根據(jù)經(jīng)過的時(shí)間或溫度自動(dòng)終止。 

時(shí)間 - 計(jì)時(shí)器允許研磨持續(xù)預(yù)定時(shí)間，并在時(shí)間到后關(guān)閉離子源電源。樣品保持真空狀態(tài)，直到負(fù)載鎖排氣。 

溫度 - 如果樣品階段達(dá)到預(yù)設(shè)溫度，與樣品冷卻系統(tǒng)相關(guān)的熱保護(hù)裝置將停止該過程。 

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描述

橫截面工作站（選配）

用于創(chuàng)建原始橫截面樣品的工具，用于在SEM研磨機(jī)中進(jìn)行離子研磨。該工作站設(shè)計(jì)用于容納各種尺寸的樣品，并能夠精確定位目標(biāo)區(qū)域，適用于各種材料，包括半導(dǎo)體器件、多層膜、陶瓷以及硬脆材料。

現(xiàn)場 樣品觀察 使用可選的立體顯微鏡或高倍顯微鏡可以在銑削位置現(xiàn)場

監(jiān)測離子銑削過程 。

可選配的立體顯微鏡（7 至 45 倍）可增強(qiáng)樣品觀察效果。顯微鏡的長工作距離允許在銑削過程中現(xiàn)場觀察樣品。 

SEM Mill 可配置 1,960 倍高倍顯微鏡，并配備 CCD 攝像頭和視頻監(jiān)視器，用于在研磨過程中實(shí)時(shí)觀察樣品并捕捉圖像。該系統(tǒng)非常適合現(xiàn)場制備樣品。 

觀察窗受百葉窗保護(hù)，可防止濺射物質(zhì)的積聚干擾樣品觀察。 

集成式臺面冷卻（可選）

雖然低角度研磨和低離子束能量可以降低樣品加熱，但對溫度敏感的樣品可能需要進(jìn)一步冷卻。SEM 研磨機(jī)的液氮系統(tǒng)在外殼內(nèi)配備一個(gè)杜瓦瓶，該杜瓦瓶 集成并互鎖，可有效消除熱致偽影。

真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移艙（可選）

可選真空艙允許您在真空或惰性氣體下將樣品轉(zhuǎn)移到 SEM。

網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)：

點(diǎn)擊此處- 通過寬離子束銑削進(jìn)行先進(jìn)的樣品制備，用于 EBSD 分析

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