東京計裝TOKYOKEISO 半導(dǎo)體流量計 P-820

東京計裝TOKYOKEISO 半導(dǎo)體流量計 P-820

 P-820

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流量測量

吹掃流量計其他陣容

與廣受歡迎的 P-810 型號一樣，P-820 也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)。另有配備簧片開關(guān)式報警觸點的型號可供選擇。

目錄和手冊

P-820

下載

P系列吹掃流量計索引和快速參考

下載

*規(guī)格如有變更，恕不另行通知。

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的流量測量

規(guī)格

測量介質(zhì)氣體

液體（相當(dāng)于水：密度1.0g/cm3，粘度1.0mPa·s） 

公稱直徑Rc: 1/4"(標(biāo)準(zhǔn)), 1/8"

NPT: 1/4", 1/8"

SW: 1/4", 3/8"

VCR: 1/4", 3/8" 

流量范圍空氣P-821：  最大 12 至 60 L/min(nor)

最小 0.5 至 5 mL/min(nor)P-823：  最大 6 至 60 L/min(nor)

最小 5 至 50 mL/min(nor)水P-821：  最大 0.4 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/minP-823：  最大 0.2 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/min·選擇流量范圍時，請參考“P系列吹掃計索引和快速參考"（TG-S0001）。 

流體溫度最高 120°C（取決于墊片材料） 

流體壓力最大0.8兆帕。 

準(zhǔn)確性P-821：滿量程的±5%

P-823：滿量程的±3% 

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