一、結(jié)構(gòu)與工作原理

 

　　金剛石探針通常由三部分構(gòu)成：探針端、懸臂梁（微懸臂）和基底。其核心是天然或人造單晶金剛石制成的針尖，曲率半徑可小至幾納米，確保高空間分辨率。當(dāng)探針接近樣品表面時(shí)，針尖與樣品間產(chǎn)生原子級(jí)作用力（如范德華力），引起懸臂彎曲。通過(guò)激光反射系統(tǒng)或壓阻傳感器檢測(cè)形變，再經(jīng)計(jì)算機(jī)重構(gòu)，即可獲得表面三維形貌或力學(xué)性能信息。

 

　　二、核心優(yōu)勢(shì)

 

　　超高硬度（莫氏硬度10）：金剛石是自然界硬的物質(zhì)，能穩(wěn)定掃描各類(lèi)硬質(zhì)材料（如陶瓷、金屬、碳纖維），不易磨損或變形。

 

　　長(zhǎng)壽命：相比硅或氮化硅探針，金剛石探針使用壽命可延長(zhǎng)數(shù)倍，尤其適用于高頻率、長(zhǎng)時(shí)間的工業(yè)在線檢測(cè)。

 

　　化學(xué)惰性強(qiáng)：耐酸堿腐蝕，可在惡劣環(huán)境（如高溫、潮濕、腐蝕性介質(zhì)）下穩(wěn)定工作。

 

　　熱穩(wěn)定性好：熱膨脹系數(shù)低，在溫度變化環(huán)境中仍能保持測(cè)量一致性。

 

　　三、應(yīng)用領(lǐng)域

 

　　半導(dǎo)體行業(yè)：用于晶圓表面缺陷檢測(cè)、光刻膠輪廓測(cè)量，確保納米級(jí)工藝精度。

 

　　生物醫(yī)學(xué)研究：在液體環(huán)境中輕柔掃描活細(xì)胞膜、蛋白質(zhì)分子，實(shí)現(xiàn)無(wú)損成像。

 

　　材料科學(xué)：分析涂層厚度、摩擦磨損機(jī)制、復(fù)合材料界面結(jié)合狀態(tài)。

 

　　質(zhì)量控制：在精密制造中檢測(cè)軸承、光學(xué)元件、MEMS器件的表面質(zhì)量。

 

　　四、使用與維護(hù)要點(diǎn)

 

　　避免碰撞：操作時(shí)需精細(xì)調(diào)節(jié)，防止針尖撞擊硬物導(dǎo)致崩尖。

 

　　定期清潔：使用惰性氣體吹掃或等離子清洗去除表面污染物。

 

　　存儲(chǔ)規(guī)范：置于干燥、防震的專(zhuān)用盒中，避免灰塵附著或機(jī)械損傷。