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ProRGA-7000-殘余氣體質(zhì)譜分析儀
  • ProRGA-7000-殘余氣體質(zhì)譜分析儀
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貨物所在地:浙江杭州市

更新時(shí)間:2025-02-27 13:11:51

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ProRGA-7000是聚光科技基于質(zhì)譜分析技術(shù)平臺(tái)開發(fā)的一款高性能殘余氣體分析儀,用于檢測(cè)特定真空區(qū)域內(nèi)關(guān)鍵氣體分壓,適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場(chǎng)合。具有毫秒級(jí)響應(yīng)速度和ppb級(jí)的靈敏度,非常適合檢測(cè)真空泄露狀態(tài),如電池、半導(dǎo)體、凍干機(jī)等真空腔體內(nèi)部特定過程相關(guān)氣體的污染水平或動(dòng)態(tài)波動(dòng),并及時(shí)提醒用戶可能產(chǎn)生的潛在風(fēng)險(xiǎn),提升產(chǎn)品良品率。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

ProRGA-7000是聚光科技基于質(zhì)譜分析技術(shù)平臺(tái)開發(fā)的一款高性能殘余氣體分析儀,用于檢測(cè)特定真空區(qū)域內(nèi)關(guān)鍵氣體分壓,適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場(chǎng)合。具有毫秒級(jí)響應(yīng)速度和ppb級(jí)的靈敏度,非常適合檢測(cè)真空泄露狀態(tài),如電池、半導(dǎo)體、凍干機(jī)等真空腔體內(nèi)部特定過程相關(guān)氣體的污染水平或動(dòng)態(tài)波動(dòng),并及時(shí)提醒用戶可能產(chǎn)生的潛在風(fēng)險(xiǎn),提升產(chǎn)品良品率。

產(chǎn)品特點(diǎn)

檢測(cè)效率高:支持多個(gè)標(biāo)記物同時(shí)檢測(cè),單組分檢測(cè)事件小于0.5s。

產(chǎn)品自動(dòng)化:具備自動(dòng)校準(zhǔn)功能,消除傳感器云頂飄逸,確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性

高精度:采用高精度四極桿質(zhì)量分析器,適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場(chǎng)合下ppb級(jí)殘余氣體分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

電池、半導(dǎo)體、凍干機(jī)等行業(yè)


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