實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:
1.PSD測距原理;
2.PSD實(shí)驗(yàn)誤差測量;
3.PSD輸出信號(hào)處理實(shí)驗(yàn);
4.PSD特性測試實(shí)驗(yàn);
5.PSD輸出信號(hào)誤差補(bǔ)償實(shí)驗(yàn) ;
6.一維PSD光學(xué)系統(tǒng)組裝調(diào)試實(shí)驗(yàn);
7.激光器驅(qū)動(dòng)實(shí)驗(yàn)。
實(shí)驗(yàn)儀器:
PSD位置傳感實(shí)驗(yàn)儀 型號(hào):FMD5093
指標(biāo):
1.半導(dǎo)體激光器:650nm,5mW,直線驅(qū)動(dòng),帶準(zhǔn)直調(diào)節(jié)固定架;
2.一維PSD:
光敏區(qū):1mm*5mm;
光譜范圍:380-1100nm;
峰值響應(yīng)度:0./W;
位置分辨率:<0.5um;
暗電流:10nA(Vr=5V);
間電阻:50K歐姆;
3.電壓表:200mV、2V、20V、200V、四檔可調(diào);測量精度:0.2%
4.升降底座:沿Z軸升降30mm;
5.二維底座:沿X軸方向平移10mm,Z軸升降30mm;
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