SF6氣體微量水分（微量濕度）的分析需要用到露點儀。儀器不同測試方法也不同。

比如利用阻容法檢測。它又稱之為電阻法，根據(jù)樣品中水分與電阻值和電容值的定量關(guān)系，將電阻值或電容值轉(zhuǎn)換成可測電量，通過對電量的測量得出被測樣品中的水分值。

冷鏡法的測試通過測定在單位時間內(nèi)離開和返回鏡面的水分子數(shù)達到動態(tài)平衡時的鏡面溫度來確定氣體的露點。一定的氣體濕度對應(yīng)一個露點溫度；一個露點溫度對應(yīng)一定的氣體濕度。因此測定氣體的露點溫度就可以測定氣體的濕度。由露點可以得到濕度，由露點和所測氣體的溫度可以得到氣體的相對濕度。

兩種測量方法都對是不同的測量儀器。阻容法用的是阻容法SF6氣體露點儀，采用阻容測量原理 （芬蘭維薩拉DMT系列傳感器）通過測量電抗的變化，可以得知被測氣體中濕度的大小。電力系統(tǒng)常用的阻容式濕度計一般檢測范圍為一60-O℃（露點），該類傳感器響應(yīng)速度快，特別適合現(xiàn)場的連續(xù)在線檢測。

冷鏡法的露點儀采用自動冷鏡測量 （斯特林制冷原理）的測量方法，可以在環(huán)境溫度高達60℃的各種環(huán)境下，以露點±0.2℃的測量精度進行SF6氣體的微量水分檢測。通過光學系統(tǒng)，測溫電路，邏輯控制電路、數(shù)字顯示電路等，測量露點溫度Td，并顯示出來。

通過測試方法可以去選擇相應(yīng)的露點儀，不管哪一款露點儀首先是要看準儀器的精度，精度達標測試數(shù)據(jù)才能標準。