質量流量控制技術，未有的過程精度

為真正實現對每個過程的控制，用戶必須準確測量進行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確全程準確按照目標執(zhí)行并達到目標產率。

作為一家在液體準確測量與控制方面*的企業(yè)，布魯克斯儀器數十年來不斷堅持創(chuàng)新熱質量流量技術，推出新產品并不斷提升現有系統(tǒng)性能以突破現有熱質量流量技術在準確性、響應速度、精度和重現性方面的限制。

布魯克斯質量流量設備在各國得到廣泛應用的關鍵原因：

• 擁有業(yè)內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求
• 創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性
• 產品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件
• 超高純度設備，專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業(yè)需求而設計

關鍵應用

• 熱處理、切割等其他熱過程
• 半導體和 LED 生產工具
• 薄膜淀積系統(tǒng)
• 用于生物制藥的生物反應器
• 石化和化工氣體和液體試驗工廠
• 吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定