掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段??芍苯永脴悠繁砻娌牧系奈镔|性能進行微觀成像。
掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣_上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電鏡主要可以分為三個部分:
a.電子光學系統(tǒng)
作用:是用來獲得很細的電子束(直徑約幾個nm),作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
作用:是用來獲得很細的電子束(直徑約幾個nm),作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
b.信號收集處理,圖像顯示和記錄系統(tǒng)
作用:收集(探測)樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號,并進行放大;將信號檢測放大系統(tǒng)輸出的調制信號轉換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像,供觀察或記錄。
作用:收集(探測)樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號,并進行放大;將信號檢測放大系統(tǒng)輸出的調制信號轉換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像,供觀察或記錄。
c.真空系統(tǒng)
作用:保證電子光學系統(tǒng)正常工作,防止樣品污染,避免燈絲壽命快速下降。
需要提供高的真空度,一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。