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根據(jù)分光方式的不同，X射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類，也就是通常所說的能譜儀和波譜儀，縮寫為EDXRF和WDXRF,
通過測定熒光X射線的能量實現(xiàn)對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀，通過測定熒光X射線的波長實現(xiàn)對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
根據(jù)激發(fā)方式的不同，X射線熒光分析儀可分為源激發(fā)和管激發(fā)兩種：用放射性同位素源發(fā)出的X射線作為原級X射線的X熒光分析儀稱為源激發(fā)儀器；用X射線發(fā)生器(又稱X光管)產(chǎn)生原級X射線的X熒光分析儀稱為管激發(fā)儀器。
就能量色散型儀器而言，根據(jù)選用探測器的不同，X射線熒光分析儀可分為半導(dǎo)體探測器和正比計數(shù)管兩種主要類型。
根據(jù)分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個別元素分析儀器。這種稱呼多用于能量色散型儀器。
在波長色散型儀器中，根據(jù)可同時分析元素的多少可分為，單道掃描X熒光光譜儀、小型多道X熒光光譜儀和大型X熒光光譜儀。
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