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真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
特點：
1.在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；
2.轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；
3.泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；
4.泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
5.壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
6.轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
真空泵常用性能參數(shù)詳注：
1.抽氣速率(體積流率)(s單位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)
當泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩上特定位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。
2.極限壓力(極限真空)(單位：Pa/MPa/mmHg)
泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的低壓力。即入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達到的低的穩(wěn)定的壓力。
3.起動壓力
泵無損壞起動并有抽氣作用的壓力。
4.前級壓力
排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。
5.前級壓力
超過了能使泵損壞的前級壓力。
6.工作壓力
對應抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
7.抽氣量(Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1)
流經(jīng)泵入口的氣體流量。
8.壓縮比
泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
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