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三維納米定位臺是一個(gè)壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺，例如：該平臺集成英國真尚有高精密的電容位移傳感器，對其行程進(jìn)行了反饋，形成閉環(huán)系統(tǒng)?？梢宰鳛橐粋€(gè)參考面可以集成其它維度的平臺，從而實(shí)現(xiàn)三維位置控制。
壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動的壓電平臺，驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。運(yùn)動范圍可達(dá)500μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。
三維納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦等特點(diǎn)。納米定位臺的驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。1-3維運(yùn)動，行程范圍最大可達(dá)1.1mm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應(yīng)變計(jì)傳感器實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
三維納米定位臺產(chǎn)品屬于高精密儀器，對于安裝與使用有著非常嚴(yán)格的要求，以保證其長期使用的可靠性與穩(wěn)定性。
此外，壓電納米定位臺還可用于：
光路調(diào)整；
納米操控技術(shù)；
納米光刻，生物科技；
激光干涉；
CCD圖像處理；
納米測量、顯微操作；
納米壓印、納米定位；
顯微成像，共焦顯微。
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