手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。
可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。
可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；
2、存儲材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層)；
3、光學(xué)組件(*頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層)；
4、金屬蒸鍍層與防磨損涂層(TiN、TiC、DLC切割工具)；
5、藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織)；
6、工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。
納米壓痕技術(shù)大體上有5種技術(shù)理論：
(1)、Oliver和Pharr方法：根據(jù)試驗(yàn)所測得的載荷一位移曲線，可以從卸載曲線的斜率求出彈性模量，而硬度值則可由zui大加載載荷和壓痕的殘余變形面積求得。該方法的不足之處是采用傳統(tǒng)的硬度定義來進(jìn)行材料的硬度和彈性模量計(jì)算，沒有考慮納米尺度上的尺寸效應(yīng)。
(2)、應(yīng)變梯度理論：材料硬度H 依賴于壓頭壓人被測材料的深度h，并且隨著壓人深度的減小而增大，因此具有尺度效應(yīng)。該方法適用于具有塑性的晶體材料。但該方法無法計(jì)算材料的彈性模量。
(3)、Hainsworth方法：由于卸載過程通常被認(rèn)為是一個純彈性過程，可以從卸載曲線求出材料彈性模量，并且可以根據(jù)卸載后的壓痕殘余變形求出材料的硬度。該方法適用于超硬薄膜或各向異性材料，因?yàn)樗鼈兊男遁d曲線無法與現(xiàn)有的模型相吻合。該方法的缺點(diǎn)是材料的塑性變形假設(shè)過于簡單，缺乏理論上支持。
(4)、體積比重法 ：主要用來計(jì)算薄膜／基體組合體系的硬度，但多局限于試驗(yàn)研究方法，試驗(yàn)的結(jié)果也難以排除基體對薄膜力學(xué)性能的影響。
(5)、分子動力學(xué)模擬 ：該方法在原子尺度上考慮每個原子上所受到作用力、鍵合能以及晶體晶格常量，并運(yùn)用牛頓運(yùn)動方程來模擬原子間的相互作用結(jié)果，從而對納米尺度上的壓痕機(jī)理進(jìn)行解釋。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心