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X射線熒光光譜儀（X-ray Fluorescence Spectrometer，簡(jiǎn)稱：XRF光譜儀），是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法。其原理是用X光激發(fā)源照射待分析的油樣，樣品中硫元素的內(nèi)層電子被擊出后，造成核外電子的躍遷，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時(shí)候，會(huì)放射出硫元素的特征 X 光。檢測(cè)器(Detector)接受這些硫元素的特征X光信號(hào)，儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對(duì)應(yīng)的測(cè)試強(qiáng)度。用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)樣品建立特征X射線強(qiáng)度與硫含量之間的關(guān)系，也就是標(biāo)定曲線。在建立了硫元素不同含量范圍的標(biāo)定曲線后，再去測(cè)試未知樣品，便可快速分析石油及其他液體中的總硫和其他元素含量。
X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素（原子序數(shù)Z=11）到鈾元素（原子序數(shù)Z=92）都可以利用這種技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)分析。但是對(duì)于原子序數(shù)較低的元素（鈦元素Ti，Z=22以下），空氣會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì)吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。
通常情況下，用于提高低原子序數(shù)元素的檢測(cè)靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣(He)沖洗樣品室。
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