150W/13.56MHz射頻電源,專用于精密干法清洗與表面活化。內(nèi)置2L高純石英腔體,支持手動阻抗匹配(50Ω),電容耦合,真空度≤50Pa。緊湊設計(450×450×360mm),集成射頻控制、觀察窗(Φ50)及強制風冷系統(tǒng)。
拓展使用場景
半導體/電子:芯片封裝前清洗(COG工藝)、PCB除膠、繼電器觸點活化。
材料改性:塑料/橡膠粘接面活化、陶瓷金屬鍍膜前處理。
科研醫(yī)療:生物傳感器清洗、細胞培養(yǎng)器皿親水化、實驗器械滅菌。
教學演示:直觀觀察等離子體反應過程(通過觀察窗)。
核心優(yōu)勢
精密清洗:13.56MHz射頻精準控制,避免材料損傷,適配敏感樣品(如納米器件)。
安全靈活:石英腔體耐腐蝕,氣體流量可調(diào)(0-50ml/min),兼容多種工藝氣體。
緊湊高效:一體式機箱節(jié)省空間,手動控制簡化操作,風冷控溫(<65℃)保障連續(xù)運行。
多材質(zhì)兼容:處理塑料、金屬、陶瓷等,解決傳統(tǒng)濕法清洗無法處理的微孔結構。
低成本維護:固態(tài)電源技術穩(wěn)定性高,開蓋方式(鉸鏈側開)便于腔體清潔。
差異化亮點:兼顧科研級精度與工業(yè)可靠性,小型化設計填補實驗室與生產(chǎn)線之間的設備空白。
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