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錦正茂10nm級液氦極低溫系統(tǒng)簡介

來源:北京錦正茂科技有限公司   2025年07月01日 10:27  

一、概述:

系統(tǒng)組成:

該系統(tǒng)由氦制冷機、氦壓縮機、水冷機、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機支架、樣品臺、樣品卡等附件共同構成。

產品特點:

1.制冷量:一級制冷7W@45K,二級制冷1.0W@4K,所需電為380V,50Hz。

2.工作壓力:<2×10-4Pa;正常生產時,會經過氦氣質譜檢漏儀撿漏,真空度wan全可以達到10-4Pa,(可選10-6Pa)依據泵的極限真空而定。

3.溫度監(jiān)控:樣品臺處設置一處溫度測量點,監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測溫精度±0.01K。

4.樣品降溫和升溫時間:制冷至4K的時間小于2.2h(腔室加大后會延長制冷時間),制冷關機后在真空下恢復到常溫的時間小于3h,該裝置采用無液氦閉循環(huán)制冷機制冷,制冷量為4K@1.0W,無負載是降溫到70K所需時間為60min,當安裝上負載后,考慮到負載以及相關支撐裝置的冷卻,制冷時間會相應的加長,但是依據經驗,該降溫時間大約在1.2h,滿足實驗要求。

5.集成控制系統(tǒng):控制真空系統(tǒng)、制冷機的運行及安全反饋功能??稍O置和顯示工作目標參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài),具備反饋安全控制功能。

技術指標:

震動量:<10nm

變溫范圍:4.5K-325K (零下269.15-零上51℃)

測溫精度:0.01

度:10-4pa  

光學窗口:2只(可定制)

窗口材料:熔融石英

輸出電極:8

二、操作流程

1:將按照所需要做的實驗進行安裝相應的卡具。安裝完成后按照圖紙將系統(tǒng)組件完畢。

2:使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起,打開波紋管上的高真空擋板閥,開啟分子泵組,將系統(tǒng)內的真空度降至低于2X10-4Pa,關閉擋板閥移除波紋管(若實驗時不礙事可以不進行拆除);

3:連接控溫儀,開啟壓縮機,對系統(tǒng)內的進行降溫,降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度,以及冷頭處的溫度。

4:測試完成后,關閉壓縮機,等待系統(tǒng)自動升溫。

熱仿真分析

在降溫至4K時,制冷機的功率為1.2W,此時對整個所處環(huán)境進行熱仿真分析,具體分析結果如下圖。

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根據熱仿真結果可知,在4.2K時,溫度均勻一致。

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